Работа опубликована в журнале Физика и техника полупроводников, т. 32,
в. 5, с. 631-633 (1998).
Особенности оптических спектров аморфного гидрированного кремния,
легированного бором, в инфракрасной области спектра
И.А. Курова, Л.И. Белогорохова, А.И. Белогорохов
Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова,
Физический факультет,
Институт редкометаллической промышленности (Гиредмет)
В оптических спектрах исследованных пленок a-Si:H(B) обнаружены колебательные
моды на волновых числах 1879 и 1848 см-1, ранее наблюдавшиеся
только в спектрах кристаллического диборана. Это указывает на образование
в аморфной сетке комплексов и связей, подобных имеющимся в диборане, в
частности, мостикового водорода. Изменение амплитуд обнаруженных мод после
отжига пленок связывается со структурными перестройками, приводящими к
уменьшению концентрации слабо связанного мостикового водорода и увеличению
концентрации четырехкоординированного бора. Это объясняет обнаруженное ранее
увеличение проводимости отожженных пленок.
Другие работы по исследованию аморфных
полупроводников